安徽富樂德長江半導體材料股份有限公司坐落于中國古銅都——安徽銅陵,由日本磁性流體技術控股股份有限公司(Ferrotec Holdings Corporation)的全資公司——上海申和熱磁電子有限公司聯(lián)合銅陵市國有資本運營控股集團有限公司于2019年9月發(fā)起創(chuàng)立。經(jīng)過多次增資擴股,目前公司注冊資金為12.1億元人民幣(截至2021年6月底數(shù)據(jù))。
為滿足國內外半導體硅片再生市場需求,完善集團內部產(chǎn)業(yè)鏈,公司于2019年投資10億元人民幣建設年產(chǎn)180萬片300mm半導體晶圓再生項目。項目占地75畝,總建筑面積近57000平方米。項目以FerroTec(中國)具有獨立知識產(chǎn)權的去膜工藝為核心,引進了國內外先進的全套精密再生設備數(shù)百臺套,采用了國際一流的300mm晶圓全自動精密CMP研磨設備,研磨加工過程實現(xiàn)全程自動化和超低去除量;量測系統(tǒng)采用國際頂級的顆粒檢測設備,具有DUV高靈敏特點,可以實現(xiàn)高吞吐量的無圖案晶圓表面檢測能力,各項指標處于國際領先水平。
在引進高水平進口設備,保持技術領先優(yōu)勢的同時,在項目建設過程中,公司依托FerroTec(中國)成熟的半導體晶圓技術人才團隊為基礎,集團外籍專家團隊直接參與設備采購、安裝與調試,國內外知名廠商參與設備搬運與二次配工程,確保每一環(huán)節(jié)均有高品質掌控。
目前,公司建設的國內首條300mm半導體晶圓精密再生線的設備調試與小批量試產(chǎn)工作正緊鑼密鼓進行,已于2021年6月份接受了國內半導體行業(yè)知名大廠的供應商稽核,并成功實現(xiàn)了客戶送樣。同月,在國家發(fā)改委聯(lián)合科學技術部、工業(yè)和信息化部、自然資源部等多部門組織開展的2020年國家產(chǎn)業(yè)轉型升級示范區(qū)建設評估工作中,公司年產(chǎn)180萬枚半導體晶圓再生項目被評為 “真抓實干成效明顯通報表揚的產(chǎn)業(yè)轉型升級示范項目”(發(fā)改振興〔2021〕866號)。
作為大尺寸半導體硅晶圓再生業(yè)務全球服務商,安徽富樂德長江半導體材料股份有限公司將持續(xù)秉承FerroTec(中國)“勤勉、立志、開拓、創(chuàng)優(yōu)”的經(jīng)營理念,立足全球化視野,以先進、務實的管理為基礎,以創(chuàng)新為動力,以人才為關鍵,堅持引進、消化、吸收與自主研發(fā)并重,嚴格推行質量體系,以優(yōu)異產(chǎn)品和服務為全球客戶提供專業(yè)配套,不斷為客戶和社會創(chuàng)造價值。