安徽富樂德長江半導(dǎo)體材料股份有限公司坐落于中國古銅都——安徽銅陵,由日本磁性流體技術(shù)控股股份有限公司(Ferrotec Holdings Corporation)的全資公司——上海申和熱磁電子有限公司聯(lián)合銅陵市國有資本運營控股集團(tuán)有限公司于2019年9月發(fā)起創(chuàng)立。經(jīng)過多次增資擴(kuò)股,目前公司注冊資金為12.1億元人民幣(截至2021年6月底數(shù)據(jù))。
為滿足國內(nèi)外半導(dǎo)體硅片再生市場需求,完善集團(tuán)內(nèi)部產(chǎn)業(yè)鏈,公司于2019年投資10億元人民幣建設(shè)年產(chǎn)180萬片300mm半導(dǎo)體晶圓再生項目。項目占地75畝,總建筑面積近57000平方米。項目以FerroTec(中國)具有獨立知識產(chǎn)權(quán)的去膜工藝為核心,引進(jìn)了國內(nèi)外先進(jìn)的全套精密再生設(shè)備數(shù)百臺套,采用了國際一流的300mm晶圓全自動精密CMP研磨設(shè)備,研磨加工過程實現(xiàn)全程自動化和超低去除量;量測系統(tǒng)采用國際頂級的顆粒檢測設(shè)備,具有DUV高靈敏特點,可以實現(xiàn)高吞吐量的無圖案晶圓表面檢測能力,各項指標(biāo)處于國際領(lǐng)先水平。
在引進(jìn)高水平進(jìn)口設(shè)備,保持技術(shù)領(lǐng)先優(yōu)勢的同時,在項目建設(shè)過程中,公司依托FerroTec(中國)成熟的半導(dǎo)體晶圓技術(shù)人才團(tuán)隊為基礎(chǔ),集團(tuán)外籍專家團(tuán)隊直接參與設(shè)備采購、安裝與調(diào)試,國內(nèi)外知名廠商參與設(shè)備搬運與二次配工程,確保每一環(huán)節(jié)均有高品質(zhì)掌控。
目前,公司建設(shè)的國內(nèi)首條300mm半導(dǎo)體晶圓精密再生線的設(shè)備調(diào)試與小批量試產(chǎn)工作正緊鑼密鼓進(jìn)行,已于2021年6月份接受了國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)知名大廠的供應(yīng)商稽核,并成功實現(xiàn)了客戶送樣。同月,在國家發(fā)改委聯(lián)合科學(xué)技術(shù)部、工業(yè)和信息化部、自然資源部等多部門組織開展的2020年國家產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級示范區(qū)建設(shè)評估工作中,公司年產(chǎn)180萬枚半導(dǎo)體晶圓再生項目被評為 “真抓實干成效明顯通報表揚的產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級示范項目”(發(fā)改振興〔2021〕866號)。
作為大尺寸半導(dǎo)體硅晶圓再生業(yè)務(wù)全球服務(wù)商,安徽富樂德長江半導(dǎo)體材料股份有限公司將持續(xù)秉承FerroTec(中國)“勤勉、立志、開拓、創(chuàng)優(yōu)”的經(jīng)營理念,立足全球化視野,以先進(jìn)、務(wù)實的管理為基礎(chǔ),以創(chuàng)新為動力,以人才為關(guān)鍵,堅持引進(jìn)、消化、吸收與自主研發(fā)并重,嚴(yán)格推行質(zhì)量體系,以優(yōu)異產(chǎn)品和服務(wù)為全球客戶提供專業(yè)配套,不斷為客戶和社會創(chuàng)造價值。